Medição de pressão resistiva (tecnologia de camada espessa de cerâmica e filme metálico delgado)
Nas tecnologias de camada espessa de cerâmica e filme metálico delgado, quatro resistências são conectadas, formando uma ponte de Wheatstone. O centro da membrana é onde as resistências sofrem maior dilatação mediante aplicação de pressão. Nas extremidades ocorre maior compressão. Em células de cerâmica e filme delgado, a membrana de medição é também a membrana de separação em relação ao meio. Não é necessário fluido de transmissão interno.
Medição de pressão piezorresistiva (semicondutor de silício)
Nos materiais semicondutores, a alteração da resistência específica e, consequentemente, do sinal, decorre da mobilidade variável dos elétrons na estrutura cristalina. A mobilidade é afetada pela carga mecânica. Através de uma membrana de aço inox (encapsulamento ), ocorre a separação entre o chip de silício sensível e o meio de processo. Para a transmissão de pressão interna, são utilizados óleo de parafina ou de silicone, conforme a aplicação.
Catalog – Product Overview – Process Sensors
Technical report – It's all in the mix: Perfect ice cream flavors thanks to Baumer sensors
Technical report – Interpreting the specifications of pressure sensors correctly